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?? XP-Glassman 電容充電電源方案
高性能高壓電源解決方案 | 離子注入應(yīng)用專用
可靠的高壓電源解決方案
為離子注入工藝提供經(jīng)過驗(yàn)證的高壓電源，保障產(chǎn)品良率
關(guān)于 XP Power
XP Power電源解決方案供應(yīng)商，致力于為關(guān)鍵系統(tǒng)提供可靠的電力支持。公司集設(shè)計(jì)、制造于一體，在亞洲、歐洲和北美擁有專業(yè)工程團(tuán)隊(duì)，生產(chǎn)設(shè)施遍布全球。
XP Power 提供全面的電源產(chǎn)品線，包括 AC-DC 電源、DC-DC 轉(zhuǎn)換器、高壓電源和射頻電源，為半導(dǎo)體制造、工業(yè)分析儀器、醫(yī)療設(shè)備等關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)解決方案。
離子注入應(yīng)用解決方案
離子注入是半導(dǎo)體制造和某些金屬表面處理工藝中的關(guān)鍵步驟。制造商希望確保產(chǎn)品良率，避免在這一工藝過程中出現(xiàn)停機(jī)線問題，以最大化收入。
高質(zhì)量、可靠且可重復(fù)的高壓電源是保持工藝一致性和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。
? 核心優(yōu)勢(shì)
??? 安全可靠
我們提供精確的電弧檢測(cè)、自定義電弧管理和控制監(jiān)控系統(tǒng)，幫助您管理系統(tǒng)中的高壓電弧，最大限度減少對(duì)負(fù)載、設(shè)備和晶圓的損害。
?? 高重復(fù)性
高壓電源的高可靠性和可重復(fù)性有助于防止對(duì)產(chǎn)量的負(fù)面影響，降低停機(jī)線的可能性。
? 晶圓保護(hù)
內(nèi)置多種保護(hù)功能，有效降低晶圓和設(shè)備損壞風(fēng)險(xiǎn)，確保生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和一致性。
?? 靈活控制
支持本地控制、模擬控制和數(shù)字控制（RS232/USB/以太網(wǎng)），滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景需求。
推薦產(chǎn)品系列 適用于電容充電
以下系列產(chǎn)品專為離子注入和電容充電應(yīng)用設(shè)計(jì)，具有卓越的性能和可靠性：
FT Series
- 輸出電壓：0-60kVDC
- 電壓和電流 0-100% 可編程
- 空氣絕緣設(shè)計(jì)
- 本地、模擬、RS232/USB 數(shù)字控制
- 可選以太網(wǎng)控制
- 電壓和電流監(jiān)控輸出
- UKCA 和 CE 認(rèn)證（EMC、LVD、ROHS）
EY Series
- 輸出電壓：0-60kVDC
- 2U 19" rack mount 機(jī)架式安裝
- 輸出電壓和電流 regulation
- 低紋波 <0.03% RMS（滿載）
- 效率 >85%
- 工作溫度：-20°C 至 +40°C
BQ Series
- 輸出電壓：0-15kVDC 至 0-100kVDC
- 正極、負(fù)極和可逆極性型號(hào)
- 模擬遠(yuǎn)程控制、以太網(wǎng)、RS232、USB（可選）
- 輸入電壓：208VAC 三相（200/380/415/480VAC 可選）
- 高負(fù)載和線路 regulation
- 電弧抑制、電弧計(jì)數(shù)、短路和熱保護(hù)
技術(shù)規(guī)格對(duì)比
| 參數(shù) | FT Series | EY Series | BQ Series |
|---|---|---|---|
| 輸出電壓范圍 | 0-60kVDC | 0-60kVDC | 0-15kV 至 0-100kVDC |
| 編程功能 | 0-100% 電壓/電流 | 電壓/電流 regulation | 全范圍可編程 |
| 紋波 | 標(biāo)準(zhǔn) | <0.03% RMS | 低紋波 |
| 控制接口 | 本地/模擬/RS232/USB/以太網(wǎng) | 模擬/數(shù)字 | 模擬/以太網(wǎng)/RS232/USB |
| 保護(hù)功能 | 電壓/電流監(jiān)控 | 熱保護(hù) | 電弧抑制/計(jì)數(shù)/短路/熱保護(hù) |
| 認(rèn)證 | UKCA, CE | 標(biāo)準(zhǔn) | 多認(rèn)證 |
典型應(yīng)用領(lǐng)域
?? 半導(dǎo)體制造
離子注入機(jī)、鍍膜設(shè)備、等離子體處理
?? 分析儀器
質(zhì)譜儀、電子顯微鏡、X射線設(shè)備
?? 科研實(shí)驗(yàn)
粒子加速器、電容充電、脈沖功率
?? 醫(yī)療設(shè)備
醫(yī)用加速器、CT設(shè)備、高壓放電
產(chǎn)品圖片
FT Series
FT Series - 750W
regulated high voltage AC-DC
輸出電壓：0-1kV 至 0-60kV DC
特點(diǎn)：19" rack mount, 1U高度
認(rèn)證：UKCA, CE
EY Series
EY Series - 1.2kW
regulated high voltage AC-DC
輸出電壓：0-1kV 至 0-60kV DC
特點(diǎn)：2U 19" rack mount case
認(rèn)證：標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證
BQ Series
BQ Series - 10kW
regulated high voltage AC-DC
輸出電壓：0-15kV 至 0-100kV DC
特點(diǎn)：支持正/負(fù)/可逆極性
認(rèn)證：多認(rèn)證
資料來源：XP Power 官方網(wǎng)站 www.xppower.com
FT Series
750W regulated high voltage AC-DC
輸出電壓：0-1kV 至 0-60kV DC
